ツァイスZEISS XENOS三座標測定機

XENOSは科学研究機関の測定実験室、航空、宇宙産業から光学工業まで、高い測定精度が要求されるさまざまな分野で使用することができる。この測定機の測定精度は技術的限界に達し、その測定範囲は1立方メートル近くである。
革新的な機械設計

XENOSは新しい機械設計理念を採用している。標準ブリッジ測定機とは異なり：Yレールは側壁部に分布し、分離式移動行程軸は横梁のみがY軸方向に移動し、より小さく、一定の移動重量――移動式プラットフォームと比較して、いわばポテンシャルである。より低く、一定の移動重量により、加速と高速度の完全な統一が可能になります。

すべての軸にリニア駆動を採用

XENOSのすべての軸はリニア駆動を採用している。その点：高速、加速が速く、位置決め精度が高く、駆動に剪断力の影響がない。超高解像度格子定規技術を組み合わせると、XENOSの線形駆動は高度な安定性と100ナノメートル未満の高い位置決め精度を得ることができる。例えば、測定針のオフセット量が一定であればあるほど、より良い測定精度が得られる。サーフェスを測定する際には、測定針の移動経路が所定の値と一致するほど、より良好な精度を実現することができます。

仮想中央駆動

XENOSはY軸方向に双線形駆動システムを備えており、蔡司の新しい中央駆動技術のおかげで良い同期制御を実現することができる。この技術はX軸位置に応じて駆動力を完全に分配することができる。新しい制御システムとアルゴリズムの完全な結合として、これは測定範囲全体で良い測定精度と運動安定性を得る重要な要素である。炭化ケイ素セラミックス

XENOSは精度に密接に関係する機械部品に革新的な炭化ケイ素セラミック材料を採用している。これまで、この材料は類似の製品や精度の測定機器で使用されたことがない。炭化ケイ素セラミックスの熱膨張性は通常のセラミックスに比べて約50%低下し、剛性は30%大きく上昇し、同時に20%減少することができる。炭化ケイ素セラミックスの重量は鋼材に比べて50%減少したが、2倍の剛性を得ることができた。

強化VAST gold

XENOSは蔡司VAST gold測定プローブを用いた。研究開発の過程で、蔡司は測定精度と測定繰り返し度の面でこのプローブを化した。XENOSも新しい剛性接続を採用している。VAST goldプローブは、非対称型プローブを含む、長さ800 mmの大プローブ、および500 gの大重量プローブと組み合わせて使用することができる。

エアフロートじくうけ

新しい強化処理エアフロート軸受はより良い安定性と測定精度を持っている。

改良された電子設計

新しい電子設計により、移動ケーブルの精度への影響は著しく低下した。コンピュータ支援精度補正（CAA）法と特殊付加CAA補正技術は、大きな測定精度を得る過程でますます重要な役割を果たしている。