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上海厳質検査設備有限公司
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厳密太陽電池TLM法ゲート線接触抵抗解析器

ネゴシエーション可能更新09/18
モデル
メーカーの性質
生産者
製品カテゴリー
原産地

概要

製品応用1、試験機能本装置は2種類の試験機能を含み、同時に18個のサンプルを置いて、自動的に試験することができる。2、試験接触抵抗は試験接触抵抗、薄層抵抗、接触抵抗率などの項目に用いられ、3、試験線抵抗は試験ゲート線の線抵抗に用いられ、幅5-10 mmの切断電池シートを試験することができる。お客様が幅10 mm以上の線抵抗をテストする必要がある場合は、専用プラットフォームを追加でカスタマイズする必要があります。

製品詳細

テスト原理図(TLM)

太陽電池電極の最適化において、接触抵抗は考慮すべき重要な側面である。接触抵抗の大きさは接触するパターンだけでなく、拡散プロセス及び焼結プロセスにも関係している。接触抵抗率を測定することは、拡散、電極作製、焼結などのプロセスに存在する問題を反映することができる。

この検出装置の計2種類の試験機能:接触抵抗率試験と線抵抗試験で、切り替えて使用することができる。テスト原理は次のとおりです。


测量电阻


測定抵抗は3つの部分から構成されている:

1)両側のプローブと電極の金属接触抵抗Rm(<

2電極と研究材料との接触抵抗Rc、

3半導体材料の正方抵抗Rsh。

電極ピッチdを変えることにより、RTLMdとの関係曲線により、界面接触抵抗Rcと研究材料の角抵抗Rを取り出すSH

プローブヘッドの概要

图4

図4


図4は接触抵抗プローブを示し、2つの隣接プローブ軸の間隔は≧0.5 mm及び≦3 mmの範囲で選択でき、ユーザーの要求に応じて異なる間隔規格をカスタマイズすることができる。


图5

図5


図5に示すのは線抵抗プローブであり、隣接するプローブ群であり、外軸ピッチは10 mm、測定可能なゲート線長は10-50 mmであり、ユーザーの要求に応じて異なるピッチ仕様をカスタマイズすることができる。

しけんぶんぷず

シート抵抗分布図--sheet resistance(Q/sq)


图7

図7


上図は7サンプルを試験したシート抵抗分布図である。各シートは5枚の領域を試験し、薄層抵抗の大きさを赤色の濃淡で表し、直観的に抵抗の大きさを表現した。


接触抵抗分布図-contact resistance(Q)


图 8

図8


上図は7個の試験片を試験した接触抵抗分布図である。各シートは5枚の領域を試験し、薄層抵抗の大きさを赤色の濃淡で表し、直観的に抵抗の大きさを表現した。


接触抵抗率分布図-pc(mΩ*cm 2)


图9

図9


上図は7つの試験片を試験した抵抗率分布図である。各シートは5枚の領域を試験し、薄層抵抗の大きさを赤色の濃淡で表し、直観的に抵抗の大きさを表現した。


線抵抗試験界面図-line resistance(Q/cm)


图10

図10


上図は線抵抗をテストしている最中の界面図である。インタフェースの右側には、1つのシート内の各線の線抵抗の分布が表示されています。

TLM接触抵抗技術指標

モデル CHT-6070TLM型

適用バッテリサイズ

230 mm以下の寸法の切断電池シート

測定可能サンプル幅

5〜10mm

プローブヘッド

次のオプションがあります。

固定プローブヘッド:顧客の寸法によって加工し、加工範囲は0.5-3 mm、調整可能プローブヘッド:現在4種類の規格があり、

(1)0.9-1.0mm(2)1.0-1.2mm(2)1.2-1.8mm(3)1.8-2.5mm

接触抵抗測定範囲

0〜120Ω

接触抵抗測定の繰り返し性

5%または0よりも好ましい. 5m Q*cm^2

ワイヤ抵抗技術指標(オプション)

適用バッテリサイズ

230 mm以下の寸法の切断電池シート

測定可能なサンプル幅

5-10mm,その他の仕様は特別にカスタマイズする必要があります

線抵抗測定範囲

0〜40 Q/cm

線抵抗測定の繰り返し性

5%または0よりも好ましい. 20/cm

拡散抵抗技術指標(オプション)

適用バッテリサイズ

230 mm以下のサイズの電池シート

測定範囲

5×10-4~2×10⁵Q/□

角抵抗試験の繰り返し性

3%未満