厳密全分光エリプソメータ

ネゴシエーション可能更新09/18

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概要

製品応用CHT-TP 01は厳密に太陽電池の研究開発と品質制御分野に対して発売された高性能専用スペクトル偏光解析器であり、波長範囲は紫外線を覆い、近赤外線まで見える。CHT−TP 01厳密質量分光エリプソメータは、パイル太陽電池専用の高感度プローブユニットと分光エリプソメータ分析ソフトウェアに基づいて、光起電力分野における多層ナノ薄膜の層構造パラメータ（例えば厚み）と物理パラメータ（例えば屈折率n、消衰係数k）の測定と分析に専用され、典型的なサンプルは、ウエハ上の単層または多層ナノ薄膜サンプル、PERC、TOPCON、ヘテロ接合、XBCなどのプロセスのパイル太陽電池不動態化膜検出、単層減反膜（例えばAl 2 O 3、SiNx、SiO 2、TiO 2など）、二層減反膜検出（例えばSiNx/SiO 2、SiNx 2/SiNx 1、SiNx/Al 2 O 3など）。バルク材料の光学的性質を測定するためにも使用することができる。

製品詳細

1）先進的な回転補償器測定技術：デルタ測定範囲は0-360°で、測定死角の問題がなく、粗面による偏光解消効果対応結果の影響も除去できる、

2）粗面絨毯ナノ薄膜の高感度測定：先進的な光エネルギー増強技術、高信号対雑音比の検出技術及び高信号対雑音比の微弱信号処理方法、粗面散乱を主とし、極めて低い反射率を特徴とする絨毯太陽電池表面めっき層の高感度検出を実現し、

3）結晶シリコン太陽電池背不動態化多層膜検査：多層膜検査に対して設計され、結晶シリコン太陽電池分野における二層膜、例えば（SiNx/SiO 2、SiNx 2/SiNx 1、SiNx/Al 2 O 3など）の検査を満たすことができる、

4）秒級の全スペクトル測定速度：全スペクトル測定典型5〜10秒、高速検出は1秒未満、

5）原子層レベルの検出感度：測定精度は0.05 nmに達することができ、

6）多入射角度調節：多入射角度構造設計、計器測定の柔軟性を強化し、特に複雑なサンプルの測定場所に適している、

7）ビデオ式サンプルアライメント：正確にサンプルアライメントを完成し、観察しやすく、人を誤差に減らす、

8）ワンタッチ式計器操作：通常の操作に対して、マウスでボタンをクリックするだけで複雑な測定、モデリング、フィッティングと分析過程を完成でき、豊富なモデルライブラリと材料ライブラリも同時にユーザーの高級操作ニーズを便利にした。

モデル	CHT-TP01 型
一般的な指標
スペクトル範囲	（U）245-1000 nm（350-1000 nmベース）（UI） 245～1700 nm
入射角度構造	（M）手動入射角度、40°〜90°、ステップ距離5°、反復性0.02°
パフォーマンス指標
反復性の測定*	Si上の100 nmに対してSiO 2膜厚のスケール時：膜厚繰り返し性：0.01 nm 屈折率反復性：0.0005
膜厚測定精度	膜厚測定精度：±0.5 nm
単回測定時間	全スペクトルΨ／Δ値測定、典型的な測定時間5〜10秒
光学コンポーネントと機械コンポーネント
だ円偏光の原理	PSCAモード（P−偏光子、S−サンプル、C−補償器、A−偏光子）光源こうげん：ワイドスペクトル光源はばスペクトルこうげん
偏光子/偏光子	高品質偏光プリズム、コンピュータ高精度制御
スポットの測定	手動でスポット径を調整する、マイクロスポット180 um
スペクトル分解能	0.4nm
波長データ間隔	0.5 nm以下
ステージ	300 mm╳3000 mm及び以下のサイズの太陽電池試料一体化試料台と互換性があり、単結晶又は多結晶試料の測定が容易である
サンプルアラインメント	精密サンプルアライメント（高さと傾き）電子ビデオ式画像アライメント用の自己コリメート望遠鏡&顕微鏡
プローブ	高感度低雑音スペクトル検出器
コントローラコントローラ	回路基板、マイクロコントローラユニット、電源、光源を含む
コンピュータ	オペレーティングシステムを含む高品質コンピュータ
出力デバイス	ソフトウェアインタフェースはスペクトルデータの出力、入力をサポートする
ソフトウェア
インタフェース言語	中国語/英語を含む多言語、デフォルトの中国語
権限管理	管理者権限、オペレータ権限を含め、機器の管理と使用を容易にする動作モード：ワンタッチの一般的な測定モードで、初心者が便利に応用できる高度な解析モード：複雑な材料の高度な解析が可能
スペクトルそくてい	●光学アセンブリの方位角の自動設定 ●ユーザ定義タスクの手動/自動実行・スペクトルを標準的なエネルギーまたは波長単位で表示する・サンプル応答の監視、オンラインでのΨ及びΔ表現
測定結果出力	・偏光解析角度Ψ、Δ及びそれに関連する他の出力形態 ●誘電関数 ●屈折率、消衰係数 ●多角度スペクトル測定、図面及びフィッティング ●偏光度 ●オリジナルデータを変更せずに波長と角度データクリップを選択する ●異なるデータを1つのファイルにマージするマージ機能
モデリング、シミュレーション、およびフィット	多層構造（単層膜、複合膜、周期交互多層膜）をフィッティングし、Ψ、Δなどを得ることができる、 ●使いやすく、ユーザーが拡張可能な材料データベース ●豊富な材料光学定数リスト ●材料分散モデル：Cauchy、Sellmeier、Lorentz、Drudeなど多種の材料分散モデルを含む ●EMA有効媒体近似 ●各膜層は均一な膜、界面、粗面などの合成データ分析と見なすことができる： ●多入射角度測定 ●多種の測定方法（偏光解析Ψ／Δ、透過、反射）フィッティング： ●光学モデルと測定データの高速回帰適合演算法則 ●実測データとシミュレーションデータを同時にグラフィカルに表示する
結果表示	●表示パターン高度なレポート機能、出力測定と計算スペクトル、光学モデル、フィッティングパラメータ

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