厳密3 D顕微鏡

そくてい

1）⾮接触性測定：⽆損傷的に表⾯形態情報を取得する、

2）ハフニウム精度：粗さ/輪郭情報測定精度1 nm、

3）クイック測定：クイックフォーカス、クイックスキャン、クイックリビルド処理、

4）安定性：良好な耐振と耐⼲乱能力、複雑な⼯作環境に適応する。

解析

1）データの可視化：直感的なデータ可視化展を提供し、直接観察するために、干渉パターンと測定結果を提供する、

2）同時に、データを保持して常⻅の部品フォーマットに導出し、前進ステップのデータ分析を行う、

3）強力なデータ分析機能：画像処理アルゴリズムとハフニウムレベル分析ソフトウェアを通じて、ユーザーはハフニウム位相抽出、表ハフニウムトポロジ分析を行うことができ、

4）膜厚計算などの複数の分析により、より詳細な試験結果とより完全なハフニウムの特徴付けを実現した。

製品の利点

1）非接触、迅速かつ柔軟で、機能の強い光機電一体化検査システム、

2）設備はミクロ形態を特徴づける輪郭寸法及び粗さ測定機能を備えている、

3）設備は自動接合機能を備え、大領域の接合縫合測定を迅速に実現することができる、

4）設備は一体化操作の測定と分析ソフトウェアを備え、事前に配置パラメータを設定してから測定を行い、ソフトウェアは自動的に測定データを統計してデータ報告書の導出機能を提供し、迅速にロット測定機能を実現することができる、

5）設備は位置調整、是正、フィルタリング、抽出の四大モジュールのデータ処理機能を備えている、

6）設備は粗さ分析、幾何学輪郭分析、構造分析、周波数分析、機能分析などの五つの分析機能を備えている、

7）設備はワンクリック分析とマルチファイル分析などの補助分析機能を備え、バッチデータファイルの迅速な分析機能を実現することができる。

業界アプリケーション

1）パイルピラミッド測定用途

I表面3 D次元、2 D構造、

Ⅱ単一ピラミッドの高さと幅測定、

IIIピラミッド計数機能：単位面積内の結晶粒数を自動的に統計し、ビュー上に十字記号で結晶粒位置をマークし、異なる仕様のピラミッドの数配置図。

2）グリッド線測定

Ⅰグリッド線の高さ、幅測定機能

Ⅱ単視野内の断面線の数、

IIIグリッド線領域自動分割機能、

IVグリッド線自動測定機能。

3）集積回路ウエハ裏面の薄型粗さ

4）ペロブスカイト薄膜太陽光技術によるレーザー溝測定ステップ高さ測定