日立イオンスパッタ（メッキ機）MC 1000

MC1000イオンスパッターコーターは,スキャン電子鏡 (SEM) で使用するサンプル準備器です.MC1000は、サンプルの表面を電気伝導性にし、SEMで観測中に電荷蓄積を避けるために、プラチナ（Pt）、金（Au）、プラチナ-パラディウム合金（Pt-Pd）または金-パラディウム合金（Au-Pd）などの薄い金属コーティングを沉積させるために設計されています。金属沉積の厚さは、LCDタッチスクリーン制御を使用して数ナノメートルから数十ナノメートルまで変化します。最大5つの処理条件を保存できます。

MC1000はマグネトロン電極を通じて動作し,これは磁石がターゲット (負電極) に組み込まれて,ターゲット表面の電場に垂直な磁場を生成することを意味します.これにより,高速移動する粒子 (反射イオンを含む) によるサンプル損傷を最小限に抑え,高粒度 (小径粒子) のコーティングを可能にします.

特徴

• LCDタッチパネルからのワンタッチ操作
• 最大5つのレシピを保存し、リコールします
• マグネトロンタイプの電極は、サンプルの損傷を減らし、平均粒子サイズを減らします。
• 直径6インチ（150mm）までのサンプル用オプションチャンバー
• 高さ1.75インチ（45mm）までのサンプル用のオプションスペーサー
• 使用中でないときの真空の下で部屋を保つための主要バルブ