DKYH型多物理場マイクロナノインデンテーションテスタ

多物理場マイクロナノインデンテーション試験技術の研究現状と問題点に対して、図1に示すように、多物理場マイクロナノインデンテーション試験機を開発、生産した。多物理場マイクロナノインデンテーション試験曲線を図2に示す。

図1多物理場マイクロナノインデンテーションテスタ

アプリ

• 金属材料、合金材料

• セラミック材料

• ポリマー材料

• せいぶつざいりょう

• 生体模倣組織

• 複合材料

• ガラス

• 半導体デバイス、薄膜

• ハードコートなどの材料

• 多物理場マイクロナノインデンテーションテスタは、材料の製造、生命科学、航空宇宙、宇宙探査のために精密な技術サポートを提供する

• 構造がコンパクトな多物理場マイクロナノインデンテーション試験器を開発し、伝統的なインデンテーション試験及び多物理場試験に適用する

• 圧電アクチュエータは打痕試験の精密駆動負荷として、大ストローク打痕駆動が可能

• 制御ホスト、専用検出制御システムとセットの分析処理ソフトウェアを装備し、ソフトウェア機能は強大で、リアルタイムで試験過程中の変位と荷重信号の変化を表示し、そこから信号の波動の大きさを抽出することができ、生成実験曲線を表示するなどの機能を含む

• DCYH型ナノインデンテーション計は圧電アクチュエータの荷重装置を採用し、測定の精度を保証する

• 打痕試験モジュールは良好な再現性と良好な試験精度を持っている

• 電気、磁気多重場結合負荷

（a）電気＋磁気試験曲線

（b）電界試験曲線 （c）磁場試験曲線

図2多物理場マイクロナノインデンテーション試験曲線

図2（a）に示すように、La 0.7 Sr 0.3 MnO 3、0.33 PIN、0.35 PMN、0.32 PTの4種類の材料に対して印加電界、磁界のインデンテーション試験を行った結果、印加電界と磁界はいずれも材料の接触剛性の増加を顕著に引き起こすことが分かった。
図2（b）に示すように、順方向電界と負方向電界はいずれもPMN−PT材料のインデンテーション曲線に影響を与え、結果は：材料の弾性性能と塑性性能はすべて印加電界の影響に従って変化した。
図2（c）に示すように、単結晶ニッケル材料は2000 Oe磁場を印加した環境下で、最大圧痕は平均2.67%増加し、残留圧深は平均4.14%増加し、結果：得られる材料の弾性率は31.36%増加し、硬度は6.77%減少した。